制造设备

摘要

本发明提供一种蒸发设备和蒸发方法，该蒸发设备是一种膜形成装置，并提供EL层膜厚的优异均匀性、优异生产率和EL材料的提高的利用效率。本发明的特征在于在蒸发期间其中设置封闭蒸发材料的容器的蒸发源固定器可以一定间距相对于基底移动。此外，膜厚监视器与用于移动之蒸发源固定器结合在一起。此外，藉由根据由膜厚监视器检测的值调整蒸发源固定器的移动速度，可以使膜厚均匀。