| 摘要 |
ドラム（１７０）によって支持された基板（１６０）上に材料を堆積させるための蒸発装置（１００）が説明されている。蒸発装置は、基板上に蒸発した材料を堆積させるため、第１の方向（１２１）に沿って、第１のライン（１２０）に整列された第１の蒸発るつぼの組（１１０）；第１の方向（１２１）に延在し、第１の蒸発るつぼの組（１１０）のうちの少なくとも１つの蒸発るつぼとドラム（１７０）との間に配置される第１のガス供給パイプ（１３０）；並びに、第１の蒸発るつぼの組（１１０）と、材料の堆積の一様性を改善するように形作られ位置付けられた開口部（１５０）を有するドラム（１７０）との間にガスを供給するため、第１の方向（１２１）に延在する第２のガス供給パイプ（１４０）を含む。【選択図】図１ |
