リプレースメントメタルゲートトランジスタ

摘要

リプレースメントメタルゲートトランジスタを開示する。種々の例により、トレンチ、第１の側壁及び第２の側壁を含むリプレースメントメタルゲートトランジスタを提供する。トレンチ内に層を配置し、この層はトレンチの底部上に配置した底部区分と、第１の側壁及び第２の側壁上に配置した側壁区分とを有し、層の側壁区分はこの層の底部区分よりも少なくとも５０％だけ薄肉となるようにする。