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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05132775(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910296157 申请日期 1991.11.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJII HARUHISA;OISHI TAKAYUKI;NAKANISHI KOICHIRO
分类号 C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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