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发明名称 VAPOR-DEPOSITION POLYMERIZATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05132765(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910323810 申请日期 1991.11.12
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 TADA ISAO;NAGASHIMA NAOKI
分类号 C08F2/34;C08F2/00;C23C14/12;C23C14/24 主分类号 C08F2/34
代理机构 代理人
主权项
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