发明名称 MATERIAL AND METHOD FOR FORMING FINE PATTERN OF FERROELECTRIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05132561(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910299287 申请日期 1991.11.14
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KANZAWA AKIRA
分类号 C08G79/00;G03F7/008;G03F7/038;H01B3/00 主分类号 C08G79/00
代理机构 代理人
主权项
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