极端紫外线光源

摘要

本发明提供一种可靠且重复率高之生产线相容之高能光子源。于真空室制造含有活性材料之极热电浆。该活性材料为一种具有于所需极端紫外线(EUV)范围之发光射线之原子元素。包含充电电容器之脉冲功率源以及包含脉冲变压器之磁压缩电路提供电脉冲，该电脉冲有足够能量及电位足以产生中间焦点超过5瓦之EUV光。申请人设计之较佳具体实施例中合规频带EUV光能于中间焦点45瓦可延伸至105.8瓦。