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发明名称 IC FOREIGN MATTER INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07128249(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930275334 申请日期 1993.11.04
申请人 NEC CORP 发明人 NAGAO MASAHIKO
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G06T1/00;G06T7/00;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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