首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Low volume gas distribution assembly for a chemical downstream etch tool
摘要
申请公布号 EP0810630(A3) 申请公布日期 1998.03.25
申请号 EP19970303123 申请日期 1997.05.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BROWN, WILLIAM;HERCHEN, HARALD;NZEADIBE, IHI;MERRY, WALTER
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com