发明名称 SUBSTRATE CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11102882(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970262350 申请日期 1997.09.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KOYAMA YOSHIHIRO
分类号 B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
地址
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