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发明名称
RAPID HEAT PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPH11154649(A)
申请公布日期
1999.06.08
申请号
JP19970319445
申请日期
1997.11.20
申请人
SONY CORP
发明人
NOGUCHI OSAMU
分类号
H01L21/31;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/26
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
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