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发明名称
摘要
申请公布号
JP2000501687(A)
申请公布日期
2000.02.15
申请号
JP19970508080
申请日期
1996.07.26
申请人
发明人
分类号
C01G1/00;C01G3/00;H01L39/24;(IPC1-7):C01G3/00
主分类号
C01G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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