发明名称
摘要
申请公布号 JP2000501687(A) 申请公布日期 2000.02.15
申请号 JP19970508080 申请日期 1996.07.26
申请人 发明人
分类号 C01G1/00;C01G3/00;H01L39/24;(IPC1-7):C01G3/00 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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