发明名称 Einrichtung zur Bildung einer Dünnschicht aus Oxydverbundsupraleiter
摘要
申请公布号 DE69132079(D1) 申请公布日期 2000.05.04
申请号 DE19916032079 申请日期 1991.08.01
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 NAKANISHI, HIDENORI;TANAKA, SABURO;ITOZAKI, HIDEO;YAZU, SHUJI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C23C14/28;C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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