| 发明名称 |
PROBING DEVICE SETTING A PROBE CARD PARALLEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100260116(B1) |
申请公布日期 |
2000.07.01 |
| 申请号 |
KR19930009674 |
申请日期 |
1993.05.31 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED;TOKYO ELECTRON YAMANASHI LIMITED |
发明人 |
HUJIHARA, HITOSI |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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