| 发明名称 | 钨的超微粒子及其制法 | ||
| 摘要 | 在无定形碳支撑膜1上配置了WO<SUB>3</SUB>粒子等的钨氧化物粒子2,在高真空气氛下用强度在10<SUP>23</SUP>－10<SUP>24</SUP>e/cm<SUP>2</SUP>·sec范围的电子束3辐照此钨氧化物粒子2。由于有这样强度的电子束3的辐照,生成了粒径在例如10nm以下的钨超微粒子4。钨超微粒子4是由从钨氧化物粒子2脱离出来的钨所构成。 | ||
| 申请公布号 | CN1294638A | 申请公布日期 | 2001.05.09 |
| 申请号 | CN99804421.0 | 申请日期 | 1999.03.19 |
| 申请人 | 科学技术振兴事业团;株式会社东芝 | 发明人 | 玉生良孝;田中俊一郎;许并社 |
| 分类号 | C23C14/30;B22F9/20 | 主分类号 | C23C14/30 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 魏金玺;邰红 |
| 主权项 | 1．一种钨超微粒子，该钨超微粒子是用电子束照射钨氧化物粒子所形成的钨超微粒子，其特征在于，它是由在高真空气氛中以具有1023～1024e／cm2·sec范围强度的电子束照射前述钨氧化物粒子，由从所述钨氧化物粒子脱离出来的钨所构成的。 | ||
| 地址 | 日本琦玉县 | ||