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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas durch eletrische Entladung in einem Entladungsraum
摘要
申请公布号 DE10310623(B4) 申请公布日期 2005.08.04
申请号 DE2003110623 申请日期 2003.03.10
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH 发明人 NEFF, WILLI;JONKERS, JEROEN;BOSCH, ERIC;DERRA, GUENTHER
分类号 H05G2/00;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/48 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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