| 发明名称 | 平板显示器制造设备的起模针模块 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种起模针模块，为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入，引发异常放电的现象，该起模针模块具备起模针，该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。 | ||
| 申请公布号 | CN101261953A | 申请公布日期 | 2008.09.10 |
| 申请号 | CN200810085709.0 | 申请日期 | 2006.05.09 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯寿;李祯彬;黄荣周;孙亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龙泰 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 章社杲;吴贵明 |
| 主权项 | 1.一种基板处理装置，包括：下部电极，基板置于其上；以及起模针模块，具有起模针，所述起模针穿过形成于所述下部电极上的穿针孔上下运动以支撑所述基板，以及固定块，所述固定块插入并固定到所述穿针孔的上部以打开/闭合所述穿针孔的上部，其中所述固定块具有与所述起模针的上端相对应的细孔，所述起模针的上端穿过所述细孔上下运动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||