| 摘要 |
本发明提供一种可缩短基板搬送所需时间之基板处理装置。FOUP搬送机器人20系将收纳着复数片基板之FOUP 80，在装载埠10与FOUP载置台30之间进行搬送。指标器机器人(indexer)40系将载置于FOUP载置台30之FOUP 80所收纳的基板W(未处理基板)，经由基板交接部50交予洗净处理部60，且将在洗净处理部60已作刷除(scrub)洗净处理之基板W(已处理完毕基板)，经由基板交接部50而接收并收纳于FOUP 80。FOUP载置台30系在指标器机器人40之周围设有复数个。因此，在搬送基板W之际，指标器机器人40并不会沿着水平方向移动。藉由此方式，可缩短基板搬送所需之时间。 |
