| 摘要 |
툴에 원하는 질량의 가스의 펄스를 이송하기 위한 시스템은, 유량 센서와, 제어 밸브와, 상기 제어 밸브를 개폐하기 위한 일련의 단계의 레시피(recipe)의 함수로서 가스 펄스의 시퀀스로 이송하기 위하여 상기 레시피를 수신하도록 구성되고 배치되는 전용 제어기를 포함하는 질량 유량 제어기를 포함한다. 질량 유량 제어기는 통상적인 질량 유량 제어기(MFC) 모드 또는 펄스 가스 이송(PGD) 모드와 같은 적어도 두 개의 모드 중 어느 하나로 동작하도록 구성되고 배치된다. 또한, 전용 제어기는 시간 기반 펄스 이송 공정, 몰 기반 펄스 이송 공정 및 프로파일 기반 펄스 이송 공정인 3개의 상이한 타입의 펄스 가스 이송 공정에 따라 가스의 펄스를 이송하기 위하여 구성되고 배치된다. |
