制御された広帯域マイクロ波加熱の方法および装置

摘要

材料処理システムは、熱処理チャンバおよび広帯域マイクロ波電源を備える。この電源は、オーブナイズされた小信号ＲＦ回路、大電力マイクロ波増幅器、ならびにアイソレータによって互いに分離された順方向電力検出器および反射電力検出器を含む。これらの電力検出器もオーブナイズされていることが好ましい。制御システムが、小信号回路内の熱により安定化されるＶＣＯおよびＶＣＡに制御信号を提供して、出力電力を、要求順方向電力と比較された検出順方向電力に基づいて制御する。このシステムは、開ループモードでもまたは閉ループモードでも走らせることができる。【選択図】図４