ADJUSTABLE GAP CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA REACTOR INCLUDING LATERAL BELLOWS AND NON-CONTACT PARTICLE SEAL

摘要

플라즈마 처리 챔버는 캔틸레버 어셈블리, 및 대기 로드를 소멸시키도록 구성되는 적어도 하나의 진공 분리 부재를 포함한다. 챔버는, 내부 영역을 둘러싸고 개구부가 형성된 벽을 포함한다. 캔틸레버 어셈블리는 챔버 내에 기판을 지지하기 위한 기판 지지부를 포함한다. 캔틸레버 어셈블리는 일부가 챔버 외부에 위치되도록 개구부를 통해 확장된다. 챔버는 벽에 대해 캔틸레버 어셈블리를 이동시키도록 동작하는 작동 메커니즘을 포함한다.