| 摘要 |
반도체 박막 트랜지스터(TFT) 구조체의 유전체 층 내의 플라즈마 수소화 영역은 TFT의 안정성을 개선한다. TFT는 전극, 전극 상에 배치되는 유전체 층, 및 유전체 상의 금속 산화물 반도체를 포함하는 다층 구조체이다. 반도체의 침착 전에 수소 함유 플라즈마에 대한 유전체 층의 노출은 반도체-유전체 계면에 플라즈마 수소화 영역을 생성한다. 플라즈마 수소화 영역은, 반도체/유전체 계면으로부터 유전체 층 및 반도체 층 중 하나 또는 둘 모두의 벌크 내에 이르기까지 농도가 소되는 수소를 포함한다. |
