用于快速热处理工具温度测量系统之光学路径改良、焦距改变补偿及散射光消减

摘要

本发明系针对一种高温计系统且包含一升降管。升降管包含一内管与一外管，外管系以嵌进式配置而环绕内管且延伸自其之一顶部至一底部，该配置系界定于其间的一流体通路。升降管更包含关联于外管之一出口，其可运作以传送一冷却气体为通过于其而至流体通路。一高温计头系耦接至内管之底部，且可运作以传送及接收透过内管之辐射。该系统更包含一辐形套环，其耦接至内管或外管的顶部之至少一者，且可运作支撑一工件以供其之热测量。