| 发明名称 |
AXIS ALIGNING METHOD FOR ELECTRON BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01221675(A) |
申请公布日期 |
1989.09.05 |
| 申请号 |
JP19880048124 |
申请日期 |
1988.02.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HAMA SOICHI;ITO AKIO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;OKUBO KAZUO;OZAKI KAZUYUKI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R19/00;G01R31/302 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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