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发明名称
Thin film adhering method and thin film adhering apparatus
摘要
申请公布号
US4964937(A)
申请公布日期
1990.10.23
申请号
US19890410787
申请日期
1989.09.22
申请人
SOMAR CORPORATION
发明人
SEKI, MITSUHIRO
分类号
G03F7/004;B29C63/02;B32B37/22;G03F7/16;H05K3/00;H05K3/06
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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