| 发明名称 |
MEASURING METHOD FOR PROBE SHAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0658754(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920212585 |
申请日期 |
1992.08.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KONDO SEIICHI;WADA YASUO;KURE TOKUO;KAKIBAYASHI HIROSHI;HAMAGUCHI TETSUYA |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01Q30/04;G01Q40/02;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q60/38;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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