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发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0661190(A)
申请公布日期
1994.03.04
申请号
JP19920208789
申请日期
1992.08.05
申请人
HITACHI LTD
发明人
KAWAKAMI HIROSHI;ENAMI HIROMITSU
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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