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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR SPUTTERING CARBON
摘要
申请公布号 EP0782744(A2) 申请公布日期 1997.07.09
申请号 EP19950935167 申请日期 1995.09.21
申请人 SEAGATE TECHNOLOGY, INC. 发明人 KIM, TAESUN, E.;LEE, HYUNG, J.;SHIH, YAO-TZUNG, R.;BRUNO, JOHN, C.;ZUBECK, ROBERT, B.;HOLLARS, DENNIS, R.
分类号 C23C14/34;C23C14/06;C23C14/35;G11B5/84;H01J37/34;(IPC1-7):G11B5/84 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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