| 发明名称 |
EVALUATION OF ANTIOXIDANT PROPERTY OF SILICON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09260451(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
| 申请号 |
JP19960061365 |
申请日期 |
1996.03.18 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
TSUGE ATSUKO;TANAKA YUKIMOTO;TAKIYAMA MASANORI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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