| 发明名称 |
PLASMA FILM-FORMING METHOD AND ADJUSTING METHOD FOR PLASMA FILM-FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09260362(A) |
申请公布日期 |
1997.10.03 |
| 申请号 |
JP19960093542 |
申请日期 |
1996.03.22 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;HORIIKE YASUHIRO |
发明人 |
HORIIKE YASUHIRO;KOBAYASHI YASUO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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