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发明名称 CMP SLURRY COMPOSITION FOR A DIFFUSION BARRIER COMPRISING TANTALUM METAL OR ITS DERIVATION IN A COPPER INTERCONNECT
摘要
申请公布号 KR100496501(B1) 申请公布日期 2005.06.22
申请号 KR20020029881 申请日期 2002.05.29
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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