发明名称 |
一种用于区熔更换籽晶夹头的装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种用于区熔更换籽晶夹头的装置,包括两个籽晶夹头、一个内轴以及籽晶夹头连接杆;其中,该内轴与籽晶夹头连接杆固定连接,两个籽晶夹头内部分别设置用于容置内轴轴头的内轴轴头运行槽;两个籽晶夹头分别通过轴承连接在籽晶夹头连接杆上,并形成固定角度;该轴承在与内轴延长杆相对一侧设有挡片;该装置还包括一拨片,该拨片设置在炉体内部;内轴旋转时,该拨片可与挡片相互作用。本实用新型采用可旋转式双籽晶夹头,并通过挡片与可伸缩式拨片之间的相互作用为籽晶夹头的旋转提供动力,在缩细颈失败后,不用拆装炉等一系列步骤即可重复缩细颈过程,简易灵活,且不影响其他操作步骤。 |
申请公布号 |
CN205347624U |
申请公布日期 |
2016.06.29 |
申请号 |
CN201521091587.8 |
申请日期 |
2015.12.24 |
申请人 |
有研半导体材料有限公司 |
发明人 |
付斌;闫志瑞;王学锋;方峰;李青保;王来福;赵洋 |
分类号 |
C30B13/32(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B13/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
刘秀青;熊国裕 |
主权项 |
一种用于区熔更换籽晶夹头的装置,其特征在于,包括两个籽晶夹头、一个内轴以及籽晶夹头连接杆;其中,该内轴与籽晶夹头连接杆固定连接,两个籽晶夹头内部分别设置用于容置内轴轴头的内轴轴头运行槽;两个籽晶夹头分别通过轴承连接在籽晶夹头连接杆上,并形成固定角度;该轴承在与内轴延长杆相对一侧设有挡片;该装置还包括一拨片,该拨片设置在炉体内部;内轴旋转时,该拨片可与挡片相互作用。 |
地址 |
101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧 |