| 摘要 |
개구를 갖는 캐리어와 해당 캐리어 상에 실장된 현수형 구조체를 포함하는 트랜스듀서 구조체가 개시되고, 해당 현수형 구조체는 캐리어의 개구 위로 적어도 부분적으로 연장한다. 트랜스듀서 구조체는 현수형 구조체와 캐리어 사이의 거리를 변화시키는 것에 의해 현수형 구조체와 캐리어 사이에 정전계를 제공하도록 현수형 구조체를 구성하는 것을 더 포함할 수 있다. 이와 달리, 현수형 구조체는 현수형 구조체와 캐리어 사이에 제공되는 정전기력에 응답하여 현수형 구조체와 캐리어 사이의 거리를 변화시키도록 구성될 수 있다. |
