发明名称 DIE SUCTION DEVICE
摘要 본 발명은 다양한 사이즈의 다이를 흡착하기 위해 다이의 사이즈 별로 콜렉터 홀더 및 콜렉터를 모두 교체할 필요없이 콜렉만을 교체할 수 있도록 하는, 다양한 사이즈의 콜렉터를 수용할 수 있는 콜렉터 홀더를 가진 다이 흡착 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 다이 흡착 장치는 다양한 사이즈의 흡착 패드를 각각 갖는 복수의 콜렉터들과, 다이의 사이즈에 따라 상기 콜렉터들 중 하나를 수용하여 콜렉터에 형성된 복수의 흡입 관통공을 통해 공기를 흡입하는 경로를 제공하는 콜렉터 홀더를 포함한다. 상기 콜렉터 홀더는 상기 콜렉터를 자력에 의해 끌어당기도록 표면 하부에 장착된 자석, 및 외부의 흡입 펌프가 연결되어 공기를 관통공을 통해 흡입하도록 형성된 공기 흡입관을 포함한다. 상기 콜렉터 홀더는 수직 단면으로 볼 때 중심으로부터 측면으로 갈수록 홈의 폭이 넓어지도록 단차가 형성되어 있다. 상기 단차에 의해 형성된 턱들 중 가장 위의 턱은 상기 복수의 콜렉터들 중 가장 작은 사이즈의 콜렉터의 콜렉터 베이스 상부가 밀착하도록 형성되어 있고, 상기 단차에 의해 형성된 턱들 중 가장 아래의 턱은 가장 큰 사이즈의 콜렉터의 콜렉터 베이스 상부가 밀착하도록 형성되어 있다. 상기 콜렉터들 각각은 상기 콜렉터 홀더와의 결합시 상기 콜렉터 홀더의 턱들 중 하나와 밀착하도록 구성된 강자성체를 재질로 한 콜렉터 베이스, 및 상기 콜렉터 베이스의 하부에 부착되어 완충 작용을 하도록 구성된 고무 패드를 더 포함한다. 상기 복수의 흡입 관통공은 상기 콜렉터 베이스, 고무 패드 및 흡착 패드를 수직으로 관통하도록 형성되어 있으며 다이의 사이즈에 비례하는 개수를 갖는다.
申请公布号 KR101687021(B1) 申请公布日期 2016.12.22
申请号 KR20150091554 申请日期 2015.06.26
申请人 주식회사 네오세미텍 发明人 김선각;임문기;최길웅;정해숙
分类号 H01L21/677;H01L21/78 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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