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发明名称 METHOD FOR BONDING IB GROUP METAL
摘要
申请公布号 JPS6411975(A) 申请公布日期 1989.01.17
申请号 JP19880119427 申请日期 1988.05.18
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 DEBUIDO BURAASU BIICHI;JIYOSEFU MAACHIN JIYASHINSUKII
分类号 C23C16/06;C23C16/18;C23C16/44;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
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