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发明名称
PLANSPIEGELINTERFEROMETER.
摘要
申请公布号
DE3873563(D1)
申请公布日期
1992.09.17
申请号
DE19883873563
申请日期
1988.03.02
申请人
HEWLETT-PACKARD CO., PALO ALTO, CALIF., US
发明人
WAYNE KENNETH J., WAYNE KENNETH J., SARATOGA, CALIFORNIA 95070, US
分类号
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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