发明名称 FREQUENCY MEASUREMENT METHOD AND ITS DEVICE AND SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号 JPH0510990(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 JP19910161304 申请日期 1991.07.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAYASHI YOSHIHIKO
分类号 G01R23/06;G01R23/10;G01R23/14;G01R23/15;H03K5/19 主分类号 G01R23/06
代理机构 代理人
主权项
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