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发明名称
LASER CASTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09260302(A)
申请公布日期
1997.10.03
申请号
JP19960063390
申请日期
1996.03.19
申请人
SEIKO INSTR INC;KOWA CO
发明人
ANDO KAZUNORI;KIN KIWA;TAKEUCHI TOSHIKIMI;YAMASHITA YOSHIHIRO;SHINNO MASAO
分类号
H01L21/20;H01L21/268;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/268
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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