| 发明名称 | 半导体器件检测系统 | ||
| 摘要 | 器件检测装置基于单独的器件检测多个半导体器件。检测目标分类部分(8)根据指出有缺陷的器件的信息省略应用于半导体器件的检测的执行，该有缺陷的器件在已经应用到器件的制造过程中已被判定为有缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN1211851C | 申请公布日期 | 2005.07.20 |
| 申请号 | CN01808487.7 | 申请日期 | 2001.04.24 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 唐沢涉 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陆锦华 |
| 主权项 | 1.一种器件检测装置，用于基于单独的器件检测多个器件，其特征为：该器件检测装置包括检测目标分类部分(8)，该检测目标分类部分(8)接收指出有缺陷的器件的信息，并根据该指出有缺陷的器件的信息省略应用于器件的检测的执行，其中，该有缺陷的器件在已经应用到器件的制造过程中已被判定为有缺陷。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||