| 发明名称 |
Arrangement and method for abating effluent from a process |
| 摘要 |
An arrangement and associated method for abating effluent from an etching process is disclosed.
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| 申请公布号 |
US7578883(B1) |
申请公布日期 |
2009.08.25 |
| 申请号 |
US20010942330 |
申请日期 |
2001.08.29 |
| 申请人 |
LSI CORPORATION |
发明人 |
WILLIAMS MICHAEL;BARTHMAN MICHAEL |
| 分类号 |
C23C16/00;B01D45/18;B01D47/00;B01D53/02;B03C3/00;C23C16/06;C23C16/22 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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