| 摘要 |
본 발명의 과제는 기판 반송 로봇의 아암이 비교적 짧은 경우에서도, 기판 탑재부에 있어서의 기판의 배치 상태를 검출하는 것이 가능한 기판 반송 로봇을 제공한다. 해결 수단으로서 이 기판 반송 로봇(13)에서는, 제어부(133)는, 평면에서 보아서, 핸드부(131)가, 카세트(30)의 전면에 대하여 수직 방향의 기판 수납 중심선(141)에 대하여 기판 반송 로봇의 선회 중심(C1)측으로 경사진 상태에서, 카세트(30) 내에 있어서의 기판(110)의 배치 상태를 검출부(150)에 의해 검출시키도록 구성되어 있다. |
