包含具有自组装单层之光学元件之极紫外光微影投射装置,具有自组装单层之光学元件,应用自组装单层之方法,装置制作方法及其制作之装置

摘要

本发明揭示一种极紫外光微影装置，其包括一光学元件，改良该光学元件之表面以减少由分子污染所导致反射性减少之效应，改良该表面俾使其包括一自组装单层。