萃取化合物半导体场效电晶体寄生电感的新方法

摘要

一种萃取化合物半导体场效电晶体寄生电感的新方法，系使用分散式电容传输线模型萃取化合物半导体场效电晶体寄生电感的方法，其中该化合物半导体场效电晶体包括一闸极、一汲极、一源极、一通道层与一基座，并藉由一特定数学解析处理程序以得到该化合物半导体场效电晶体之闸极寄生电感加源极寄生电感、汲极寄生电感加源极寄生电感、源极寄生电感与虚部Z参数的线性关系式，进而萃取出该化合物半导体场效电晶体之闸极寄生电感、汲极寄生电感与源极寄生电感效应数值。