MEASURING METHOD OF SURFACE ROUGHNESS OF POLISHING PAD

摘要

본 발명은 연마 성능과 강한 관련성을 나타내는 연마 패드의 표면 거칠기 지표를 측정할 수 있는 연마 패드의 표면 거칠기 측정 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. 연마 패드(2)의 표면 거칠기의 측정 방법으로서, 레이저 현미경(30)을 이용하여 연마 패드 표면의 화상을 취득하는 공정과, 취득한 화상 내로부터 평균 높이보다 높이가 큰 영역만을 선택하는 공정과, 선택된 영역에서만 표면 거칠기를 산출하는 공정을 포함한다.