发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS641281(A) |
申请公布日期 |
1989.01.05 |
申请号 |
JP19870157059 |
申请日期 |
1987.06.23 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHIKAWA TAKAHIDE;ORISAKA SHINJI;KOBIKI MICHIHIRO |
分类号 |
H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/812 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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