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发明名称
MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS641231(A)
申请公布日期
1989.01.05
申请号
JP19870157062
申请日期
1987.06.23
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NODA MINORU
分类号
H01L29/812;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/338;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/43;H01L29/80
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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