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发明名称 VERFAHREN ZUR OPTISCHEN ABSORPTIONSSPEKTROSKOPIE IN HALBLEITERN.
摘要
申请公布号 DE3576411(D1) 申请公布日期 1990.04.12
申请号 DE19853576411 申请日期 1985.03.20
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 BLOOD, PETER, REDHILL SURREY RH1 5HA, GB
分类号 H01L21/66;G01R31/265;(IPC1-7):G01R31/26;G01N21/17;H01L31/10 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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