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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02218124(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890037337 申请日期 1989.02.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIRAISHI MASATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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