发明名称 Method of fabricating MIM device arrays using a single exposure and lift-off process
摘要
申请公布号 US5258864(A) 申请公布日期 1993.11.02
申请号 US19920869408 申请日期 1992.04.16
申请人 U.S. PHILIPS CORPORATION 发明人 SHANNON, JOHN M.
分类号 G02F1/136;G02F1/1365;H01L45/00;(IPC1-7):G02F1/133;C09K19/00 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
地址