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经营范围
发明名称
WET REMOVAL TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0661214(A)
申请公布日期
1994.03.04
申请号
JP19920134572
申请日期
1992.05.27
申请人
NEC CORP
发明人
SANGO TOSHIAKI
分类号
H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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